Laboratorní zařízení pro leptání křemíkových waferů

Smolka, Petr; Minařík, Antonín; Rafajová, Magda; Rajnohová, Eliška

dc.title	Laboratorní zařízení pro leptání křemíkových waferů	cs
dc.title	Laboratory equipment for etching quartz wafers	en
dc.contributor.author	Smolka, Petr
dc.contributor.author	Minařík, Antonín
dc.contributor.author	Rafajová, Magda
dc.contributor.author	Rajnohová, Eliška
dc.date.issued	2011-09-26
utb.relation.issue	24820
dc.type	utilityModel
dc.language.iso	cs
dc.relation.uri	https://isdv.upv.cz/webapp/resdb.print_detail.det?pspis=PUV/24820
dc.description.abstract	Technické řešení se týká laboratorního zařízení pro leptání křemíkových destiček – waferů, určených pro použití v polovodičovém průmyslu, zejména při výrobě mikroprocesorů pro osobní počítače (CPU, GPU, procesory základní desky počítače), mobilní telefony, digitální fotoaparáty a ostatní techniku.	cs
dc.description.abstract	Technical solution deals with the laboratory device used for etching of silicon wafers, which are widely used in semiconductor industry, namely in the production of microprocessors for personal computers (CPU, GPU, motherboard chipsets), cell phones, digital cameras and other electronic devices.	en
utb.faculty	Faculty of Technology
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10563/1005402
utb.identifier.rivid	RIV/70883521:28110/12:43868214!RIV13-MSM-28110___
utb.identifier.obdid	43868308
utb.identifier.obdid	43868309
utb.source	p-upv
dc.date.accessioned	2015-10-02T13:58:18Z
dc.date.available	2015-10-02T13:58:18Z
utb.identifier.upv1	2011-24820
utb.identifier.upv2	23165
utb.identifier.mpt	H 01 L 21/306
utb.date.registered	2011-09-08
utb.patent.type	U1
utb.patent.state	Valid document
utb.contributor.internalauthor	Smolka, Petr
utb.contributor.internalauthor	Minařík, Antonín
utb.contributor.internalauthor	Rafajová, Magda
utb.contributor.internalauthor	Rajnohová, Eliška
utb.date.registration-published	2012-01-11