Publikace UTB
Repozitář publikační činnosti UTB

The effect of temperature gradient on the variation of surface topography and reflectivity of anisotropically etched silicon wafers

Repozitář DSpace/Manakin


Find Full text Export to RefWorks
   


Soubory tohoto záznamu

Citace ČSN ISO 690:2011

Citace článku v časopise:
KOTĚNA, Jan, Antonín MINAŘÍK, Erik WRZECIONKO, Petr SMOLKA, Magda MINAŘÍKOVÁ, Martin MINAŘÍK, Aleš MRÁČEK, Ivo KUŘITKA a Michal MACHOVSKÝ. The effect of temperature gradient on the variation of surface topography and reflectivity of anisotropically etched silicon wafers. Sensors and Actuators, A: Physical [online]. 2017, vol. 262, s. 1-9. [cit. 2017-09-25]. ISSN 0924-4247. Dostupné z: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442471630646X.

Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.

Související články