TBU Publications
Repository of TBU Publications

Charakterizace methylphenylsilan-vodíkových RF plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie

DSpace Repository

Show simple item record


dc.title Charakterizace methylphenylsilan-vodíkových RF plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie cs
dc.title Mass spectrometry characterization of methylphenylsilane-hydrogen RF plasmas en
dc.contributor.author Kuřitka, Ivo
dc.contributor.author Broža, Pavel
dc.contributor.author Pryček, Jiří
dc.contributor.author Schauer, František
dc.relation.ispartof Plasma Processes and Polymers
dc.identifier.issn 1612-8850 Scopus Sources, Sherpa/RoMEO, JCR
dc.date.issued 2007
utb.relation.volume 4
utb.relation.issue 1
dc.citation.spage 53
dc.citation.epage 61
dc.type article
dc.language.iso en
dc.publisher Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. en
dc.identifier.doi 10.1002/ppap.200600063
dc.relation.uri http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ppap.200600063/abstract
dc.subject kryogenní vzorkování cs
dc.subject plynová chromatografie cs
dc.subject hmotnostní spektrometrie cs
dc.subject organo-křemíkové prekurzory cs
dc.subject radiofrekvenční výboj cs
dc.subject cryogenic sampling en
dc.subject gas chromatography en
dc.subject mass spectrometry en
dc.subject organo-silicon precursors en
dc.subject radio frequency glow discharge en
dc.description.abstract Je zkoumána plazmochemie methylphenylsilanu zředěného vodíkem v radiofrekvenčních výbojích při depozici tenkých vrstev plazmatických polysilanů. Reakční systém byl studován za podmínek vedoucích k nejlepším materiálům za podmínek identifikovanžch v dřívějších studiích. MS je využita ke sledování fragmentace monomeru a k přímé dynamické i statické chrakterizaci výboje. Je popsán efekt příkonu buzení plazmatu. Produkty plazmaticky indukované reakce se sbíraly do kryogenní pasti a následně byly separovány pomocí GC MS. Byly identifikovány organicko-křemíkové prekurzory plazmatické polymerizace jednodimenzionálních polysilanů. Byla zavedena jednoduchá metoda stanovení konverze monomeru. cs
dc.description.abstract The plasmochemistry of methylphenylsilane diluted with hydrogen in radio frequency discharges during the deposition of thin films of plasmatic polysilane is investigated. The plasma reaction system has been examined under conditions identified from previous studies to give the best material. Mass spectrometry is used to follow the monomer fragmentation and to directly (on-line) analyze the plasma composition under the static and dynamic regimes. The effect of input power is described. The products of the plasma-induced reactions are collected in a cryogenic trap and then separated and analyzed by gas chromatography with a mass spectrometry analyzer. Organosilicon precursors for the plasma polymerization of one-dimensional polysilanes are identified together with prevailing reaction pathways in the plasma. A simple method of monomer conversion efficiency is introduced. en
utb.faculty Faculty of Technology
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10563/1000772
utb.identifier.rivid RIV/70883521:28110/07:63505347
utb.identifier.obdid 16053330
utb.identifier.scopus 2-s2.0-33846705893
utb.identifier.wok 000244049100007
utb.source j-riv
utb.contributor.internalauthor Kuřitka, Ivo
utb.contributor.internalauthor Schauer, František
Find Full text

Files in this item

Show simple item record