Publikace UTB
Repozitář publikační činnosti UTB
Characterization of epitaxial layers using scanning microwave microscopy
Repozitář DSpace/Manakin
Kontaktujte nás | Jazyk: čeština English
- Domovská stránka DSpace
- →
- Článek ve sborníku
- →
- Fakulta aplikované informatiky
- →
- Zobrazit záznam
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| Název: | Characterization of epitaxial layers using scanning microwave microscopy |
| Autor: | Martínek, Tomáš; Kudělka, Josef; Navrátil, Milan; Křesálek, Vojtěch |
| Typ dokumentu: | Článek ve sborníku (English) |
| Zdrojový dok.: | Annals of DAAAM and Proceedings of the International DAAAM Symposium. 2015, vol. 2015-January, p. 1109-1114 |
| ISSN: | 1726-9679 (Sherpa/RoMEO, JCR) |
| ISBN: |
|
| DOI: | https://doi.org/10.2507/26th.daaam.proceedings.156 |
| Abstrakt: | In this article, atomic force microscopy and its variation scanning microwave microscopy were used for characterizatio of the epitaxial layers with different dopant doping levels specified by the manufacturing data. The vapour phase epitax was used for the deposition of individual layers on a silicon substrate. The measured data were visualized and compare with the manufacturing data. |
| Plný text: | http://doi.org/10.2507/26th.daaam.proceedings.045 |
| Zobrazit celý záznam | |
Soubory tohoto záznamu
Citace ČSN ISO 690:2011
Citace článku v konferenčním sborníku:
MARTÍNEK, Tomáš, Josef KUDĚLKA, Milan NAVRÁTIL a Vojtěch KŘESÁLEK. Characterization of epitaxial layers using scanning microwave microscopy. In: Annals of DAAAM and Proceedings of the International DAAAM Symposium [online]. Zadar: Danube Adria Association for Automation and Manufacturing, DAAAM, 2015, s. 1109-1114. [cit. 2024-11-19]. ISSN 1726-9679. Dostupné z: http://doi.org/10.2507/26th.daaam.proceedings.045.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
MARTÍNEK, Tomáš, Josef KUDĚLKA, Milan NAVRÁTIL a Vojtěch KŘESÁLEK. Characterization of epitaxial layers using scanning microwave microscopy. In: Annals of DAAAM and Proceedings of the International DAAAM Symposium [online]. Zadar: Danube Adria Association for Automation and Manufacturing, DAAAM, 2015, s. 1109-1114. [cit. 2024-11-19]. ISSN 1726-9679. Dostupné z: http://doi.org/10.2507/26th.daaam.proceedings.045.
Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.
Související články
Kromě případů, kde je uvedeno jinak, licence tohoto záznamu je Attribution-NonCommercial 4.0 International
