Publikace UTB
Repozitář publikační činnosti UTB

Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning

Repozitář DSpace/Manakin


Find Full text Export to RefWorks
   


Soubory tohoto záznamu

Soubory Velikost Formát Zobrazit

K tomuto záznamu nejsou připojeny žádné soubory.

Citace ČSN ISO 690:2011

Citace článku v konferenčním sborníku:
HORÁČEK, Miroslav, Alexandr KNÁPEK, Milan MATĚJKA, Stanislav KRÁTKÝ, Michal URBÁNEK, Filip MIKA a Vladimír KOLAŘÍK. Hiding E-beam exposure fields by deterministic aperiodic 2D patterning. In: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation [online]. Brno: Czech Academy of Science, Institute of Scientific Instruments, 2018, s. 36-36.

Tyto citace vytvořil software a mohou obsahovat chyby. Pro ověření přesnosti si nastudujte příslušnou citační normu nebo příručku.

Související články