TBU Publications
Repository of TBU Publications

Laboratorní zařízení pro leptání křemíkových waferů

DSpace Repository

Show simple item record


dc.title Laboratorní zařízení pro leptání křemíkových waferů cs
dc.title Laboratory equipment for etching quartz wafers en
dc.contributor.author Smolka, Petr
dc.contributor.author Minařík, Antonín
dc.contributor.author Rafajová, Magda
dc.contributor.author Rajnohová, Eliška
dc.date.issued 2011-09-26
dc.type utilityModel
dc.relation.uri http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1713123&lan=cs
dc.description.abstract Technické řešení se týká laboratorního zařízení pro leptání křemíkových destiček – waferů, určených pro použití v polovodičovém průmyslu, zejména při výrobě mikroprocesorů pro osobní počítače (CPU, GPU, procesory základní desky počítače), mobilní telefony, digitální fotoaparáty a ostatní techniku. cs
dc.description.abstract Technical solution deals with the laboratory device used for etching of silicon wafers, which are widely used in semiconductor industry, namely in the production of microprocessors for personal computers (CPU, GPU, motherboard chipsets), cell phones, digital cameras and other electronic devices. en
utb.faculty Faculty of Technology
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10563/1005402
utb.identifier.rivid RIV/70883521:28110/12:43868214!RIV13-MSM-28110___
utb.identifier.obdid 43868308
utb.identifier.obdid 43868309
utb.source p-upv
dc.date.accessioned 2015-10-02T13:58:18Z
dc.date.available 2015-10-02T13:58:18Z
utb.identifier.upv1 2011-24820
utb.identifier.upv2 23165
utb.identifier.mpt H 01 L 21/306
utb.date.registered 2011-09-08
utb.patent.type U1
utb.patent.state Valid document
utb.contributor.internalauthor Smolka, Petr
utb.contributor.internalauthor Minařík, Antonín
utb.contributor.internalauthor Rafajová, Magda
utb.contributor.internalauthor Rajnohová, Eliška
utb.date.registration-published 2012-01-11
Find Full text

Files in this item

Show simple item record